CVD(化学蒸着) 2021/11/26 CVD(化学蒸着) 化学蒸着とも呼ばれる成膜法。 処理方法はPVDが薄膜材料を直接気化して薄膜化するのに対して、CVDは薄膜構成原子を含む化合物ガスを原料として化学反応を利用して薄膜を付着させる。 切削工具や金型などで使用する超硬質被膜で使用する...