PVD(物理蒸着) 2021/11/26 PVD(物理蒸着) 物理蒸着とも呼ばれる成膜法。 真空中で成膜材料を加熱・蒸発させ、ワークの表面に薄膜を付着させる。 真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリングの3つの方式があるが、いずれも高真空下で行う。 切削工具や金型などで使用する...