ヨーレートセンサー

ヨーレートは、自動車のZ軸（垂直方向の軸）に対する回転速度。ヨーレートセンサーは、車体の回転角速度を計測し、電子制御ECUに送信する。主に車両ダイナミック制御ESCで使用する。4輪独立でのブレーキ制御を行い、車両の走行安定性を確保する。

従来はピエゾ圧電素子などを使用していたが、近年は高感度な立体マイクロマシニングで加工された容量式センサーを使用することが多い。

この容量式センサでは、中づりのマス動きの距離の変化を電気信号に変換する。

ヨーレートセンサーは先進運転支援システム(ADAS)の分野でも必要なセンサーとしてニーズが高まっている。強制的にハンドルを回して車線を維持する「レーンキープアシストシステム（LKAS）」、「全車速クルーズコントロール（ACC）」などに展開されている。

サイズ

5～20㎜

静電容量式センサー（ボディ、マス、スプリング）

シリコーンウェハー

MEMS（＝Micro Electro Mechanical Systems）立体マイクロマシニング