加速度センサー
立体マイクロマシニングで加工された容量式センサーが多い。構造は中吊りにされたマス動き（距離の変化）を加速度電気信号に変換し、電子制御ECUに送信する。
主に横滑り防止ABSブレーキやカーナビゲーションの高速道路入場判定などで使用していたが、近年はミリ波レーダーの角度補正やヘッドライトの自動光軸調整などでも使用する。
画像は村田製作所製加速度センサー。
サイズ
5～20㎜
構成
静電容量式センサー（ボディ、マス、スプリング）
材質
シリコーンウェハー
工法
立体マイクロマシニングMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）
