加速度センサー

加速度センサー

立体マイクロマシニングで加工された容量式センサーが多い。構造は中吊りにされたマス動き(距離の変化)を加速度電気信号に変換し、電子制御ECUに送信する。

主に横滑り防止ABSブレーキやカーナビゲーションの高速道路入場判定などで使用していたが、近年はミリ波レーダーの角度補正やヘッドライトの自動光軸調整などでも使用する。

画像は村田製作所製加速度センサー。

サイズ

5~20㎜

構成

静電容量式センサー(ボディ、マス、スプリング)

材質

シリコーンウェハー

工法

立体マイクロマシニングMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)

シェアする

  • このエントリーをはてなブックマークに追加

フォローする