加速度センサー

加速度センサー

加速度センサーは、一定の時間ごとにどの程度速度が変化しているかを測るセンサー。
ESC車両姿勢制御システムや、横滑り防止ABSブレーキなどのシステムにおいて、自動車の動きを知るために使用される。加速度を感じるセンサーエレメントと、その加速度情報を電気信号に変換するICコンピューターで構成されている。センサーエレメントは立体マイクロマシニングで加工された容量式センサーが多い。構造は中吊りにされたマス動き(距離の変化)を加速度電気信号に変換し、電子制御ECUに送信する。

カーナビゲーションの高速道路入場判定などでも使用していたが、近年はミリ波レーダーの角度補正やヘッドライトの自動光軸調整などでも使用する。

カーナビゲーションでは高速道路とその下を走る一般道の誤検知は昔からの課題となっているが解決していない。

画像は村田製作所製加速度センサー。

サイズ

5~20㎜

構成

静電容量式センサー(ボディ、マス、スプリング)

材質

シリコーンウェハー

工法

立体マイクロマシニングMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)

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