加速度センサー
カーナビゲ―ションの坂路検出や急加速の注意喚起などに使用する。加速度を計測し、カーナビゲ―ション電子制御ECUに送信する。
ABSブレーキやESC車両ダイナミック制御で使用するものと同じで、容量式センサ方式が多く、内部構造は中づりのマス（重り）の距離の変化を電気信号に変換する。
サイズ
5～20㎜
構成
静電容量式センサ（ボディ、マス、スプリング）
材質
シリコーンウェハー
工法
MEMＳ（＝Micro Electro Mechanical Systems）立体マイクロマシニング
